JW-300A晶圆贴膜机
产品介绍
产品特点 此设备适用于桌面平台放置，体积小，操作便利。 晶圆减薄前贴膜性能：晶圆收益≥99.9% 贴膜质量：没有气泡(不含灰尘颗粒气泡) 产能：≥ 80片晶圆/h 产品更换时间：5min 规格参数 序号 | 项目 | 指标 | 单位 | 1 | 晶圆规格 | 4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12" | inch | | 晶圆厚度 | 300- 750 | μm | | 晶圆材料 | 硅，砷化镓或其他 | | | 晶圆工艺 | 单平边，双平边，V型缺口 | | | 胶膜材料 | 蓝膜或UV膜 | | | 胶膜规格 | 长：100 宽：120-240 厚：0.05-0.2 | m mm mm | | 贴膜 | 防静电滚轮， 自动拉膜。 | | | 晶圆台盘结构 | 通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式或硅胶台盘或陶瓷台盘 | | | 晶圆装载方式 | 手动放置与取出 | | | 台盘防静电控制 | 防静电特氟龙涂层 防静电贴膜滚轮 除静电离子发生器 | | | 切割环节设计 | 手动可调整环形切刀 刀头带独立加热机构无任何飞边 独特的手动直切刀设计 | | | 晶圆定位 | 通用标线/弹簧销钉 | | | 安全防护 | 配置紧急停机按钮 | | | 电源 | AC 电压 220 AC 电流10 | V A |
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