ZLS-24D/M型氦质谱检漏仪是一种全功能氦质谱检漏仪,与我厂生产的扩散泵型仪器相比,采用了品牌涡轮分子泵作仪器的高真空机组,优化了真空系统及控制阀门的设计,显示部分采用了嵌入式工控计算机,微机系统控制。适用于生产线上对大批量零件的检漏(喷氦法或背压法),也可用吸枪作吸氦法检漏。
主要特点:
1.1微机系统控制,人机对话方式操作
1.27英寸触摸式液晶显示屏,大字符漏率显示,
漏率直读,四种常用漏率单位转换
1.3自动扫描氦峰,具有图形显示和保存功能
1.4动态清除本底
1.5检漏过程曲线显示
1.6检漏数据保存功能
1.7声讯报警,报警点可程序设置
1.8自带一套辅助系统,可作喷氦法、吸氦法和背压法检漏
1.9品牌涡轮分子泵
主要技术参数:
2.1仪器最小可检漏率:优于1×10-11Pa·m3/s
2.2仪器的反应时间:不大于3s
2.3仪器质谱室允许工作的最高压强:1×10-2Pa
2.4仪器测试口允许工作的最高压强:1000Pa
2.5被检件由粗抽至检漏的自动切换点
检漏点)可调范围:40~10-1Pa
主要部件配置:
3.1涡轮分子泵国产1台
3.2前级泵国产1台
3.3粗抽泵国产1台
3.4质谱分析室1套
3.5校准漏孔(带检定证书)1支