产品名称

VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪

产品型号

VTC-600-3HD

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套

接头）及减压阀

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任意调换）。

2、可制备多种薄膜，应用广泛。

3、体积小，操作简便。

4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整。

5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪。

技术参数

1、电源电压：220V 50Hz

2、总功率：＜2.5KW

3、极限真空度：< E-6mbar（配合本公司设备使用可达到E-5mbar）

4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）

5、靶枪数量：3个

6、靶枪冷却方式：水冷

7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）

8、直流溅射功率：500W（可选）

9、射频溅射功率：300W/500W（可选）

10、载样台：Ø140mm

11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调

12、保护气体：Ar、N₂等惰性气体

13、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM

产品规格

主机尺寸：500mm×560mm×660mm，整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg

标准配件

1

直流电源控制系统

2套

2

射频电源控制系统

1套

3

膜厚监测仪系统

1套

4

分子泵（德国进口）

1台

5

冷水机

1台

6

冷却水管（Ø6mm）

4根

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材

掩膜版

振动样品台