18路质子流量计供(混)气系统
产品介绍
一、概述 1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。 2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。 3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。 4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。 5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。 二、技术参数: 气路通道:18 气路流量控制:质子流量控制器。 接口: Φ6 显示: LED 工作环境温度: 5~45℃ 流量控制器:质子流量控制器(详细技术参数请查看后面) 四氟管:Φ6外XΦ4内 压力真空表 :-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/格 截 止 阀:Φ6 三、供气系统内部压力不能过大,不然容易造成漏气,只要气体能正常流出来即可。 四、供气系统的配置: 1、质子流量计:18个 2、压力表:6个 3、截止阀门:18个 4、穿板接头:18个 5、阀门接头:6个 6、钢瓶接头: 6个 7、聚四氟乙烯管:10M 8、混气罐:1个 9、炉架:1台 五,外形尺寸:650*650*1850 质量流量计技术参数:质子流量控制器普通型,模拟电路,橡胶密封,管状分流,不易堵塞。 主要指标: 量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(你可以任意选择量程)
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售后服务
易用性
性价比
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