四氟化碳

产品介绍

四氟化碳

分子式：CF4
分子量：88.01
CAS号：75-73-0
性质：又称四氟甲烷。

　　(tetrafluormathane)。无色无臭味气体。不燃。熔点-184℃。沸点-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡胶，也可用作制冷剂、绝缘气体。可用于半导体生产中等离子蚀刻、表面清洗，并用作太阳能电池气体，激光器工作介质。及超低温制冷剂，气体绝缘剂、微电子工业中等离子体化学干刻剂以及火箭方向的控制。高浓度对人体有麻醉作用。

用途：用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。

产品指标：
项目名称

	指标纯度
四氟化碳（CF4）.%	≥99.999	≥99.995	≥99.99
氮气（N2）.ppmv	≤4	≤20	≤40
氧气（O2）.ppmv	≤1	≤5	≤10
二氧化碳（CO2）.ppmv	≤1	≤5	≤10
一氧化碳（CO）.ppmv	≤0.3	≤0.5	≤1
六氟化硫（SF6）.ppmv	≤1	≤1	≤5
水份（H2O）.ppmv	≤1	≤5	≤10
酸度（HF）.ppmv	≤0.1	≤0.3	≤0.3
氟碳化合物（TFC）.ppmv	≤1	≤10	≤30
注：氟碳化合物CH3F（R41）、CH2F2（R32）、CHF3（R23）、C2F6（R116）、C3F8（R218）等。