钨蚀刻剂TFW

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钨蚀刻剂TFW

货号: TSA0505-1GAL
品牌: Transene
参考价格: 3800元
交货期: 现货
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产品介绍

本品为钼和钨的选择蚀刻剂，可用于半导体和微电子技术。TFM和TFW选择蚀刻剂是加有缓冲剂的呈中等碱性的氰化铁基蚀刻剂，其蚀刻图案分辩率高，边下蚀低，与光刻胶有良好匹配性。采用浸泡或喷涂技术可达到控制性均匀的蚀刻效果。

性质

	TFM钼蚀刻剂	TFW钨蚀刻剂
外观	琥珀色水溶液	琥珀色水溶液
PH	10.0	8.0
稀释	用蒸馏水	用蒸馏水
可匹配光刻胶	阴性光刻胶：PKP（Transene） KMER\KTFR\KPR	阴性和阳性光刻胶
冲洗	蒸馏水	蒸馏水
闪点	不可燃	不可燃
蚀刻速率
20℃		30 Å /秒（浸泡）
		80 Å /秒（喷涂）
30℃	55 Å /秒
60℃	85 Å /秒
蚀刻能力	30g/加仑	64 g/加仑(10,000英寸2/5000 Å厚)