OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而生，它将**的测量精度和光学性能与智能工具相结合，使显微镜易于使用。在亚微米级精确测量形状和表面粗糙度方面，可以快速有效地利用可信任的数据，简化操作员的工作流程。

测量精度 可靠稳定

物镜是显微镜最重要的光学部件，利用光线使被检物体第*次成像，因而直接关系和影响成像的质量和各项光学技术参数。在实际开展测量工作中，不同检测对象所需物镜大小不尽相同，因此，对于从业人员有很强的技术、经验要求。

奥林巴斯LEXT OLS5100 3D测量激光显微镜的智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)可以为表面粗糙度测量选出合适的物镜。智能物镜选择助手可通过三个简单的步骤根据应用情况对物镜评分，用户由此即可知道其所使用的物镜是否合适，让测量结果保持稳定，不受操作员技能水平的影响。

更快扫描 更高精度

通过配备适用于表面形貌表征的LEXT激光专用物镜OLS5100激光显微镜可检测最小6纳米的台阶高度差，从而实现高度精确的测量，MEMS扫描振镜让系统能够以高分辨率扫描整个表面，为了获得更高质量的图像，可选择能够获得更出色图像质量的4K扫描模式，即便细微到120nm结构，仍然可以获得清晰的图像，系统将扫描速度和数据精度进行了最*配比。

OLS5100激光显微镜的数据分析也非常简便，只需点击数次，软件即可快速量化，包括台阶高度、线宽，和表面粗糙度在内的表面形貌。为了获得更高效率，显微镜提供了智能实验管理助手，它可让操作人员快速执行诸如设置样品和测量条件，以及管理测量结果等一系列测量任务，操作人员还可根据实验计划将测量数据趋势可视化。与传统方法相比，可减少30%的操作时间，使用LEXT OLS5100 3D测量激光显微镜，让图像的表面形貌表征水平提升到更高层次。

借助PEAK算法，OLS5100激光显微镜可在数秒内采集数十微米范围内的数据，如果想要获得更快的结果，“跳跃扫描”模式可让系统在短短20秒内，测量1毫米的台阶高度差，显微镜操作非常简便，只需点击“开始”按钮即可自动采集3D数据，智能扫描功能可自动优化成像设置，尽可能减少不同操作人员导致的人为差异。

数据分析 简便易用