四氟化碳
分子式:CF4
分子量:88.01
CAS号:75-73-0
性质:又称四氟甲烷。
(tetrafluormathane)。无色无臭味气体。不燃。熔点-184℃。沸点-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡胶,也可用作制冷剂、绝缘气体。可用于半导体生产中等离子蚀刻、表面清洗,并用作太阳能电池气体,激光器工作介质。及超低温制冷剂,气体绝缘剂、微电子工业中等离子体化学干刻剂以及火箭方向的控制。高浓度对人体有麻醉作用。
用途:用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体,或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。
产品指标:
项目名称
|
指标纯度 |
四氟化碳(CF4).% |
≥99.999 |
≥99.995 |
≥99.99 |
氮气(N2).ppmv |
≤4 |
≤20 |
≤40 |
氧气(O2).ppmv |
≤1 |
≤5 |
≤10 |
二氧化碳(CO2).ppmv |
≤1 |
≤5 |
≤10 |
一氧化碳(CO).ppmv |
≤0.3 |
≤0.5 |
≤1 |
六氟化硫(SF6).ppmv |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
水份(H2O).ppmv |
≤1 |
≤5 |
≤10 |
酸度(HF).ppmv |
≤0.1 |
≤0.3 |
≤0.3 |
氟碳化合物(TFC).ppmv |
≤1 |
≤10 |
≤30 |
注:氟碳化合物CH3F(R41)、CH2F2(R32)、CHF3(R23)、C2F6(R116)、C3F8(R218)等。 |
产品包装:
钢瓶规格(DOT) |
48.8L |
47L |
40L |
10L |
4L |
钢瓶阀 |
CGA580/CGA590/CGA320 |