产品特点：

◆ 5-20毫秒的响应时间

◆ 六个角度方向自由防震

◆ 紧凑、模块化的多功能设计，模块化可扩展

◆ 无低频共振并没有空气要求

◆ 提供优秀的低频段隔振能力

◆ 主动防震1Hz - 200Hz，被动防振频率 >200Hz ◆ 无电磁干

◆ 与LFS-3低频传感器搭配后，AVI系列主动减振设备可以降 低到0.7Hz的隔离频率

技术参数：

基本配置：两个模块和一个控制器

主动隔振范围：1Hz-200Hz

被动隔振范围:＞200Hz

垂直方向:约1.75 μm / N

水平方向:约 3.5μm / N

输入电压:90 -125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗:通常为9W

传输率:过10Hz＜-35dB

系统噪声:低于50nG/√Hz

控制器尺寸:48 x 13 x 25 cm

使用环境:仅用于室内

隔振模块尺寸(单模块)：360x120x112.5mm

负载范围：0~400KG（双模块）

性能监控:通过在示波器上显示一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

应用领域：

•扫描电子显微镜（SEM）

•透射电子显微镜（TEM)

•扫描隧道显微镜（STM）

•扫描探针显微镜（SPM)

•核磁共振仪

•干涉仪

•轮廓仪

•光谱仪

•显微镜（SNOM)微纳米硬度检测仪

•光刻机

•还有更多！