微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
KW-4E-III匀胶机
产品介绍 1. 涂胶显影功能:4路涂胶显影(标配) 2. 基材尺寸:5-200mm(标准)/5-600mm(需定制)(基材尺寸需联系客服)3.转速范围:10-12000RPM(标准)/10-20000RPM(可选) 3. 加速范围:10-30000RPM/S,可调 4. 电机转速稳定性:±1RPM 5. 旋涂均匀度:±1% 6. 加热范围:室温-200℃ 7. 冷却至室温速度:2秒 8. 人机界面:8英寸触摸屏 9. 通讯接口:USB(标配)/RS485(标配)/蓝牙(选配)带蓝牙通讯,免费上位机通讯软件,可远程控制涂胶整平机 10. 手写笔:Stylus BAMBOO电阻笔(标配) 11. 真空泵:SC-550V 12. 工作电压(旋涂机):AC100-250V,单相,50/60Hz 13. 工作电压(泵):AC220V(标准) AC110V(可选) 14. 抽速:≥60L/MIN 15. 旋涂机功率:650W 16. 水泵功率:350W 17. 尺寸(旋涂机):340mm(W)X500mm(D)X250mm(H) 18. 腔体材质:整体PTFE材质 19. 重量(旋涂机):18KG 20. 重量(泵):9KG 21. 保修期:1年 |
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