3、靶材规格

3-1 材质：锰（Mn Target）。

3-2 纯度：99.9，99.99%。

3-3 晶粒度：45微米。

3-4 尺寸：Φ25,30,40,50.5,60,76.2,80,100,101.6mm，T:0.2-10mm等。

3-5 密度：7.43g/cm³。

3-6 表面粗糙度：Ra≤0.8um（溅射面），Ra≤6.4um（做金属化）。

3-7 外观：目视检查无破损、划伤、污迹、裂纹等在使用上有害的缺陷。

4、金属化（BSM）

4-1 种类：金属化材料为纯铟或银（镀膜）。

4-2 粘接度：表面均匀，无气孔，粘接牢固。

4-3 检测：用3M胶带测试。