适用设备:适用于北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、金盛微纳、泰科诺、Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备。
应用领域:生产及科研方面应用,光学,微纳加工,器件等行业,广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面显示、特种涂层等镀膜产品。
高导电性与导热性:铝的电阻率低、热导率高,制备的薄膜导电均匀性好,是电子互连、电极层的理想材料。
化学稳定性:常温下表面会形成致密氧化膜,耐腐蚀性较好,适配多种复杂镀膜工况。
性价比优势:相比金、钛等贵金属靶材,成本更低,适合大规模工业化生产。
可定制性强:支持不同纯度、尺寸和形状的定制,满足平面靶、旋转靶等多种溅射设备需求。
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