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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
Laurell 650匀胶机WS-650Mz-23NPPB
Laurell 650匀胶机WS-650Mz-23NPPB图片
型号: WS-650Mz-23NPPB
产地: 美国
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型号:WS-650Mz-23NPPB
产地:美国
产品别名:Spin Coater
仪器类型:匀胶机
产品介绍

一、Laurell 650匀胶机 产品特点:
美国Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪 采用NPP外壳材质,PLC控制,速度可调节,在启动之后一般工艺先以低速运转使胶摊开,然后自动变到高速运转,步骤转速及相应的时间分别可调;

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二、Laurell 650匀胶机 WS-650Mz-23NPPB 技术参数:
1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径圆片,方片125x125mm;
3、转动速度:100-12,000rpm,
4、旋涂加速度:1-12000rpm/sec(空载);
5、马达旋涂转速:稳定性能误差<± 1 %;
6、转速调节精度:1rpm,重复性1rpm;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、设备控制器:PLC控制,按键式操作。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、高认证:美国国家标准技术研究院(NIST)认证;
12、配套真空泵系统:无 油 型 220~240伏交流,50/60赫兹;

13、提供上门现场 或 远程在线 安装培训,用户可灵活选择;

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